怎么解决硅溶胶抛光液结晶问题

二氧化硅抛光液在抛光过程中会出现结晶并结块，虽然问题不大，但如果处理不当，工件表面很可能会被划伤甚至报废。那么我们该如何解决二氧化硅抛光液结晶问题呢？

首先，我们应该了解硅溶胶抛光液的性质和属性。二氧化硅抛光液是一种由高纯度硅粉经水解离子、交换工艺制成的高纯度低金属离子产品。在含水环境中，容易形成离子网络结构。一旦水被分离，表面很快凝结成晶体块。所以只要保持水分，基本上不会发生结晶。在实际的CMP抛光过程中，硅溶胶抛光溶液会一直在研磨板上旋转和流动，结晶较少。

因此，氧化硅抛光液的储存环境应在5-30℃之间，放置在阴凉避光的地方，而且抛光工作完成后，需要及时清洁光盘表面和抛光垫，这样不容易在抛光垫和机床台面上留下二氧化硅晶体。

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