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TFT 减薄粉是一种用于薄膜晶体管(TFT)液晶显示屏玻璃减薄工艺的关键材料,以下是关于它的一些介绍:
一、作用
在 TFT 液晶显示屏的制造过程中,玻璃基板需要进行减薄处理,以降低显示屏的重量和厚度,提高其性能和便携性。TFT 减薄粉通过化学机械研磨(CMP)的方式,帮助去除玻璃基板表面的多余材料,实现准确的减薄效果,同时保证玻璃表面的平整度和光洁度,减少表面缺陷,提高显示屏的显示质量。
二、性能要求
研磨效率:具有较高的研磨去除速率,能够在较短的时间内去除玻璃基板的一定厚度,提高生产效率。
粒度分布:颗粒粒度需要均匀且适中,太粗的颗粒可能导致玻璃表面划伤,太细的颗粒则可能研磨效率低下。合适的粒度分布有助于实现平稳、高效的研磨过程,并保证玻璃表面的质量。
硬度:需要有适当的硬度,既能有效研磨玻璃材料,又不会对玻璃基板造成过度损伤或产生裂纹等缺陷。
化学稳定性:在与玻璃基板和减薄过程中使用的化学试剂接触时,应具有良好的化学稳定性,不会发生不必要的化学反应而影响减薄效果或导致设备腐蚀等问题。
悬浮性:在减薄液中能够较好地悬浮,不易沉淀,以保证研磨颗粒能够均匀地分布在研磨体系中,实现均匀的研磨效果。