抛光液的性能对工件双面抛光的影响

稀土抛光液的性能直接影响被抛光工件的表面质量，是双面抛光的关键要素之一。稀土抛光液一般含有超细固体磨粒、表面活性剂、氧化剂和稳定剂，其中固体磨粒具有切削作用，去除发生化学变化需要切除的部件，氧化剂产生化学腐蚀和溶解，从而溶解碎屑。在抛光过程中，稀土抛光液中磨粒的种类、形状、尺寸、浓度、化学成分、pH值、粘度、流速和流路都会影响去除率。

在对不同材质的工件进行抛光时，所需要的抛光液的成分和pH值也不同。pH值影响工件的表面质量和去除率，与磨料的分解和溶解度、抛光表面的蚀刻、氧化膜的形成和悬浮液（胶体稳定性）有关，必须严格控制抛光液的pH值。抛光氧化物时，抛光液一般选用SiO，作为磨料，pH控制在10以上，抛光金属时，抛光液一般选用酸性，以保证pH值在较小值，以获得非常高的工件去除率。

根据其硬度，磨粒可分为软磨粒和硬磨粒两大类。常用的磨粒有四种：氧化铝系列、硬质合金系列、超硬磨具系列、软磨具系列。抛光用磨粒应具有以下性能：

1、磨粒的形状和大小均匀一致，并保持在规定的范围内；

2、磨粒的熔点高于工件的熔点；

3、磨粒可适当破碎，使切削刃更锋利；

4、磨粒容易分散在抛光液中。

一般来说，当磨粒硬度和尺寸增大时，工件的去除率增加，但同时划痕增加，工件表面质量下降，同时磨粒尺寸也增加小，容易造成结块，增加工件表面的划痕。随着抛光液中磨粒浓度的增加，工件去除率增加，但当磨粒浓度达到一定水平时，工件去除率也停止增加，并保持在一定的常数。这种现象称为材料去除饱和，但由于磨粒浓度的增加，反而使工件表面的划痕增多，表面质量下降。

研究稀土抛光液的目的是寻找去除率高、平整度好、膜厚均匀性好的抛光液，以达到机械和化学效果的理想结合。此外，还必须考虑抛光机的腐蚀性、易清洁性、处置成本和安全性等方面。

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