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随着社会的快速发展,前沿制造业也带来了新的挑战,在原有的基础上,严格要求,达到精细化水平,是各行各业共同面临的问题。本期带大家了解一下在先进制造业中常用于表面平整化生产的新材料——cmp抛光液。
cmp抛光液的成分和作用是什么?
cmp抛光液是一种化学机械抛光液,主要是二氧化硅抛光液,其主要成分是PH调节剂、氧化剂、分散剂和磨粒。根据所需抛光材料的性质选择不同的PH调节剂和相应的配方。金属材料常使用酸性PH调节剂,效果更好。碱性抛光液较多存在于非金属材料的抛光中。在CMP抛光液中加入氧化剂,可通过化学反应在被抛光物体表面形成氧化膜,适用于后续的机械擦拭。分散剂将磨粒均匀地分散在CMP抛光液中以提高其稳定性。磨粒可以进行磨粒去除行为,作用于被加工工件的表面,达到去除表面材料的目的。其研磨能力取决于磨粒的硬度、形状和粒径,以及磨粒在抛光液中的质量浓度。
cmp抛光液有哪些用途?
CMP抛光液在实际应用中应用广泛,主要用于精密仪器的制造过程。例如,在LED芯片制造过程中,芯片基板材料蓝宝石具有非常高的硬度,使用普通磨料通常会在表面产生或大或小的划痕,效果不佳。cmp抛光液通过“软磨加硬”原理对蓝宝石表面进行精密抛光,效果非常好。此外,CMP抛光液也广泛应用于半导体工作中,随着半导体产业的快速发展,对材料抛光程度的要求也越来越严格,传统的抛光技术只能进行平面抛光,而CMP抛光液可以对抛光细节进行处理,不留死角。
以上就是关于cmp抛光液的介绍,希望对大家能够有所帮助。